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水平集法研究SON結(jié)構(gòu)的形成機(jī)理與實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

來源： 樹人論文網(wǎng)發(fā)表時(shí)間：2021-09-10
簡(jiǎn)要：摘要:根據(jù)描述硅原子表面擴(kuò)散現(xiàn)象的理論動(dòng)力學(xué)模型,采用水平集模塊,利用COMSOL Multiphysics

　　摘要:根據(jù)描述硅原子表面擴(kuò)散現(xiàn)象的理論動(dòng)力學(xué)模型,采用水平集模塊,利用COMSOL Multiphysics