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水平集法研究SON結構的形成機理與實驗驗證

來源： 樹人論文網發表時間：2021-09-10
簡要：摘要:根據描述硅原子表面擴散現象的理論動力學模型,采用水平集模塊,利用COMSOL Multiphysics

　　摘要:根據描述硅原子表面擴散現象的理論動力學模型,采用水平集模塊,利用COMSOL Multiphysics